Der FFC ist geeignet für die Reinigung und Trocknung aller gängigen Typen von FOUPs und FOSBs. Dank eines flexiblen Designs können verschiedene FOUPs und FOSBs in der gleichen Anlage gereinigt werden.

Gereinigt wird mit heissem DI-Wasser, Reinigungs-/Trocknungszusätze können bei Bedarf hinzugefügt werden. Durch die Rotation eines Karussells und mit einströmender Heissluft (gefiltert mit HEPA Filter) werden die FOUPs und FOSBs schonend getrocknet. Diese Technologie führt zu exzellenten Reinigungs- und Trocknungsergebnissen sowie niedrigen Betriebskosten.