HALBAUTOMATISCHE ANLAGE SWB
Waferbearbeitung

Die SWB ist eine Nassprozessanlage für alle gängigen Reinigungs- und Ätzprozesse in der Halbleiter-, Optik- und Photovoltaik-Industrie. Durch modulare Bauweise können verschiedenste Prozesse integriert werden und automatisches Umsetzen ermöglicht reproduzierbare Ergebnisse.

Die Bediener sind bei kritischen Prozessen optimal geschützt.

Zur Erfüllung des Standards FM4910 ist die MWB in PVDF erhältlich.

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